Sintesis silikon nitrida pertama kali dilaporkan pada tahun 1857 oleh Henri Edouard Saint-Clair DeVille dan Friedrich Wöhler. Dalam sintesis mereka, yang boleh diletakkan dengan silikon diletakkan di dalam crucible yang dipenuhi dengan karbon dan dipanaskan untuk mengurangkan penembusan oksigen. Mereka melaporkan produk yang mereka panggil silikon nitrida, tetapi tidak dapat menentukan komposisi kimianya.
Pada tahun 1879, Paul Schützenberger memperoleh produk dengan pemanasan silikon bercampur dengan bahan lapisan (tampalan yang boleh digunakan sebagai kapal yang boleh diperolehi dengan mencampurkan arang, briket arang batu, atau kokas dengan tanah liat) dalam relau letupan dan melaporkannya sebagai sebatian dengan Si3N4. Pada tahun 1910, Ludwig Weiss dan Theodor Engelhardt menghasilkan SI3N4 dengan pemanasan silikon elemen dalam nitrogen tulen. Pada tahun 1925, Friedrich dan Sittig mensintesis silikon nitrida dengan pemanasan silikon dioksida dan karbon dalam suasana nitrogen ke 1250-1300 ijazah menggunakan pengurangan haba karbon.
